硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

        硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層，并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現,包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。

        硅烷在儲存時應注意以下問題：

        1.在通風良好、安全且不受天氣影響的地方存儲。鋼瓶應直立擺放。且保持保護性閥蓋和輸出閥的密封完好。

        2.存儲區域應遠離頻繁出入處和緊急出口。儲存區域內不應有火源，儲存區內所有電器必須有防爆設施。易燃物存放區應與氧及氧化物存放區最少相距20ft。

        3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以保證能耐火半小時。儲存區和使用區內應有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。4.存儲溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。

        5.使用先進先出系統。應考慮在儲存區內安裝測漏器和報警設備。